川崎工場

特徴

国内・海外からの高品質なニーズに対応する首都圏の製造拠点です。

半導体用材料ガスを製造する「半材ガス棟」、およびJCSS零位調整用ガスや高々圧ガスなどを製造する「特殊ガス棟」の2施設が稼動しています。
近年、国内および海外の半導体メーカー様から高品質なSiH2Cl2（ジクロロシラン）、COS（硫化カルボニル）への需要が高まり、ハイレベルなニーズにお応えするため特殊ガスの生産体制を増強しました。
なお、ジクロロシランおよび硫化カルボニルは日本酸素グループ内で川崎工場のみが扱っています。

主な取り扱い製品

• 硫化カルボニル（シリコンプロセスのエッチング用）
• ジクロロシラン（シリコン半導体の材料ガス）
• 高純度ガス（ゼロガス、キャリアガス、雰囲気用ガスなど）
• 混合ガス（電球封入、還元試験、放射線測定用など）
• 高々圧ガス

アクセス

〒210-0866　神奈川県川崎市川崎区水江町3-3（Googleマップを開く）

バスをご利用の場合

• JR「川崎駅」または京急「京急川崎駅」下車
• JR川崎駅東口バスのりばより「水江町」行き（エリーパワー前／ゼロ・エミ工業団地方面）に乗車
• いずれも「東亜石油前」下車（乗車時間：約20分）、徒歩約3分
  ※詳細な運行情報は各バス会社のWebサイトをご確認ください。
  　- 川崎市バス（外部リンク）
  　- 川崎鶴見臨港バス（外部リンク）

タクシーをご利用の場合

• JR「川崎駅」または京急「京急川崎駅」下車
• JR川崎駅東口よりタクシーで約15分

半材ガス棟

ジクロロシランおよびCOS製造の国内最大規模プラント

原料受入

充填

分析

特殊ガス棟

JCSS零位調整標準ガスの国内最大規模となる製造工場

容器置場

充填

分析